ЭВОЛЮЦИЯ МОРФОЛОГИИ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ РОСТЕ ПЛЕНОК АМОРФНОГО И ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, "Поверхность. Рентгеновские, Синхротронные И Нейтронные Исследования"

Тензостимулированный Эффект В Легированном И Термообработанном Кремнии При Ориентированной Деформации

“…Но в литературе имеется мало сведений об особенностях тензостимулированного эффекта изменения удельного сопротивления при наличии глубоких энергетических уровней в запрещенной зоне и термодефектов в объеме полупроводника. Как известно [8,9] после термического отжига при высоких температурах и резкого охлаждения в объеме полупроводникового кристалла образуются электроактивные и нейтральные термические дефекты. Исследованиями ряда авторов [10][11][12] установлено, что термоотжиг различной длительности (1−200 h) в широком интервале температур (300−1200 • С) кислородосодержащих монокристаллов кремния, выращенных методом Чохральского, приводит к образованию различных термодоноров (TD) кислородной природы в объеме кристалла Cz-Si.…”