Финишная Обработка Поверхности Монокристаллов Титанил-Фосфата Калия Кластерными Ионами Аргона

Abstract

It is demonstrated that a argon cluster ion beam can be used for the finishing treatment of ultrasmooth surfaces (with initial root-mean-square roughness below 0.3 nm) of potassium titanyl phosphate single crystals. Analysis of the power spectral density function of surface roughness showed that cluster-ion irradiation leads to removal of residual chemical contaminations from the subsurface layer and produces additional smoothing of the crystal surface in a broad range of spatial frequencies (ν = 0.2–100 μm^–1).

Сглаживание тонких поликристаллических пленок AlN кластерными ионами аргона

“…Обработка материалов слабосвязанными кластерными ионами, генерируемыми ионизацией нейтральных кластеров из сверхзвуковой газовой струи, является многообещающим инструментом для различных практических приложений: приповерхностной имплантации, осаждения тонких пленок, масс-спектрометрии вторичных ионов с помощью кластерных ионов [1]. В частности, нелинейные эффекты взаимодействия кластеров с обрабатываемой поверхностью обеспечивают эффективное сглаживание поверхности различных материалов (металлов, диэлектриков, монокристаллов и сверхтвердых материалов) до субнанометрового уровня шероховатости при минимальном повреждении подповерхностной структуры [2][3][4][5].…”

“…Данный диапазон частот соответствует неровностям с характерными размерами от нескольких нанометров до 50 µm. Ранее [5,8] нами было показано, что для сверхгладких поверхностей (R q 1 nm) различных материалов обработка кластерными ионами обеспечивает сглаживание в одном и том же более узком диапазоне ν = 0.2−128 µm −1 .…”

Влияние Температуры Мишени На Образование Нанорельефа При Облучении Газовыми Кластерными Ионами

“…Одним из способов достижения высокого уровня гладкости поверхности различных материалов является использование ионных пучков. В частности, хорошо зарекомендовала себя в этой области технология ускоренных газовых кластерных ионов [2][3][4].…”