Физико-Химические Свойства Углеродных И Фторуглеродных Покрытий, Полученные Осаждением Из Газовой Фазы При Атмосферном Давлении В Динамическом Режиме Нанесения

Abstract

В работе показана возможность формирования углеродных и фторуглеродных покрытий в непрерывном (динамическом) режиме осаждения из газовой фазы при атмосферном давлении с использованием низкочастотного плазмотрона низкотемпературной плазмы. Установлен контактный угол смачивания полученных покрытий, и проведено исследование с помощью АСМ.