Синтез и хеморезистивная чувствительность к водороду наноструктурированных пленок CuO

Abstract

Highly porous CuO films up to 1 µm thick, consisting of vertically oriented nanowires ~50 nm in diameter, were synthesized by copper evaporation in a vacuum arc discharge in an argon/oxygen atmosphere followed by deposition on heated substrates. The phase composition and polycrystalline nature of the films were confirmed by X-ray diffraction. On the example of gaseous hydrogen H2, at a sensor operating temperature of 300 °C, the sensory characteristics of CuO films were studied. The qualitative mechanism of the effect of gas on the electrical characteristics of the nanostructured CuO film is described.

Низкочастотные шумы и сопротивление фотодиодов с незащищенной поверхностью на основе InAsSbP/InAs в атмосфере паров этанола

“…Для изготовления таких датчиков применяются многие материалы, например оксиды как n-типа проводимости (SnO 2 , ZnO, TiO 2 , α-Fe 2 O 3 , WO 3 ), так и p-типа (CuO, NiO, Cr 2 O 3 , Co 3 O 4 ), а также пленки твердого раствора In 2 O 3 −Ga 2 O 3 . Датчики на основе оксидов и их твердых растворов чувствительны ко многим газам (аналитам), например к H 2 , NH 3 , CO, NO 2 и CH 4 , однако для достижения низких порогов обнаружения газов требуется использование высоких температур (до 500 • C) и высоких рабочих напряжений (до 2 V) [1][2][3]. Это приводит к значительному усложнению конструкции датчика как за счет создания дополнительного нагревательного элемента [4], так и из-за необходимости создания условий для эффективного отвода тепла, что плохо сочетается с задачей получения миниатюрных приборов.…”