8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects 2022
DOI: 10.56761/efre2022.c4-p-015702
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Поток энергии на подложку в процессе дуального магнетронного осаждения покрытий TiAlN

Abstract: Представлены результаты измерения зависимости плотности потока энергии на подложку от частоты (коэффициента заполнения) импульсов в процессе нанесения покрытий TiAlN с помощью дуальной распылительной системы с металлическими Ti и Al катодами. Показано, что плотность потока энергии увеличивается на 20–30% при уменьшении коэффициента заполнения питающих импульсов с 40 до 6% при постоянной средней мощности разряда. Уменьшение коэффициента заполнения импульсов также приводит к уменьшению скорости роста покрытий. Д… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...

Citation Types

0
0
0

Publication Types

Select...

Relationship

0
0

Authors

Journals

citations
Cited by 0 publications
references
References 15 publications
0
0
0
Order By: Relevance

No citations

Set email alert for when this publication receives citations?