Получение наноостровковых пленок Sn, Al, Cu и исследование их электропроводящих свойств

Abstract

Представлены результаты получения наноостровковых пленок Sn, Al, Cu на диэлектрических подложках и исследования их морфологических и электропроводящих свойств. Показано, что исходная эффективная толщина плeнки существенно влияет на морфологические параметры наноостровков. При исследовании проводимости плeнок на этапе конденсации выявлен эффект спада проводимости после прекращения осаждения, который связан с процессами наноструктурирования. При исследовании температурных зависимостей проводимости плeнок обнаружены три области изменения электропроводности: низкотемпературная область активационного роста, область спада при наноструктурировании и высокотемпературная область активационного роста. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания N 2015/701(код проекта 3879) и Государственного совета Республики Крым в рамках гранта молодым учeным Республики Крым (пост. N п170-1/16 от 02.02.2016). DOI: 10.21883/FTT.2017.04.44263.197

Особенности Электрической Проводимости Наноостровковых Металлических Пленок

“…Установлено, например, что температурная зависимость проводимости наноостровковых металлических плeнок существенно отличается от аналогичной зависимости объемных образцов и носит активационный характер [1][2][3][4]. Данная статья посвящена рассмотрению вопросов, связанных с особенностями активационной проводимости островковых плeнок в целом и в частности является результатом теоретического анализа и обобщения экспериментального материала статей [5,6].…”

“…В наших предыдущих работах [5,6] приведены результаты экспериментальных исследований изменения проводимости наноостровковых плeнок с различной эффективной толщиной h eff в диапазоне температур от комнатной до 300 • С для таких металлов, как Sn, Al, Cu, Fe, Ni, Ti и Pt. В них показано что температурная зависимость проводимости сверхтонких и островковых металлических плeнок при первичном нагреве в общем случае имеет N-образный вид (две области активационного роста проводимости, разделeнные областью спада проводимости).…”