О возможности применения фторидных неодим-активированных кристаллов в качестве светоуправляемого затворв для излучения ArF-лазера (193 nm)

Abstract

Сообщено об оптических свойствах кристаллов фторидов KY3F10:Nd3+, Na3Y6F22:Nd3+, SrF2:Nd3+ и CaF2:Nd3+ в УФ и ВУФ областях спектра. Спектры поглощения из основного (4I9/2) и из возбужденного (4F3/2) состояний зарегистрированы в диапазоне длин волн от 190 до 240 nm. Спектры поглощения из возбужденного состояния показывают существенное приращение коэффициентов поглощения исследованных образцов в области длин волн 193 nm при накачке состояния 4F3/2 ионов Nd3+ ИК излучением. Полученные результаты демонстрируют возможность применения этих кристаллов в качестве оптических затворов для УФ и ВУФ диапазона, управляемых внешним лазерным ИК излучением, например для излучения эксимерного ArF-лазера с длиной волны 193 nm, которое начало применяться в фотолитографии. Ключевые слова: фторидный кристалл, ионы неодима, ВУФ, УФ, спектр поглощения, поглощение из возбужденного состояния, оптический затвор, 193 nm, эксимерный ArF-лазер.