Модификация ферромагнитных свойств тонких пленок Si-=SUB=-1-x-=/SUB=-Mn-=SUB=-x-=/SUB=-, синтезируемых методом импульсного лазерного осаждения при изменении давления буферного газа

Abstract

Изучена серия тонких пленок сплавов Si 1−x Mnx толщиной от 50 до 100 нм, выращенных методом импульсного лазерного осаждения на подложке Al 2 O 3 в вакууме и в атмосфере аргона. Показано существенное влияние давления буферного газа в ростовой камере на структурную и магнитную однородность полученных пленок. Исследованы условия формирования в образцах ферромагнитной фазы с высокой температурой Кюри (> 300 K). Методом зонда Ленгмюра определен порог абляции мишени MnSi излучением второй гармоники (λ = 532 нм) Nd : YAG-лазера с модуляцией добротности. Получены времяпролетные кривые для ионов факела при изменении плотности энергии на мишени и давления аргона в напылительной камере. Установлена немонотонная зависимость амплитуды зондового времяпролетного сигнала от давления аргона для высокоэнергичных частиц факела.