Исследование условий получения SiAlCN покрытий методом анодного испарения Al и разложения кремнийорганического прекурсора в разряде с самонакаливаемым полым катодом

Abstract

В работе исследован метод получения керамических PDC покрытий реактивным испарением алюминия в парах кремнийорганического прекурсора в разряде низкого давления с самонакаливаемым полым катодом (СНПК). Методом оптической эмиссионной спектроскопии исследован спектр плазмы разряда с СНПК в условиях испарения Al в среде Ar+N2+гексаметилдисилазан (ГМДС). Получены SiAlCN покрытия со скоростью осаждения до 11,3 мкм/ч. Полученные пленки имели плотную и однородную структуру и обладали твердостью до 25 ГПа и хорошей адгезией на образцах из нержавеющей стали. Результаты СЭМ и РФА показали, что в составе присутствуют все необходимые элементы, а покрытия являются рентгеноаморфными.