Исследование Структурных И Морфологических Свойств HPHT Алмазных Подложек

Юнин, П.А.; Volkov, P. V.; Дроздов, Ю Н; Колядин, А.В.; Korolev, S. A.; Радищев, Д.Б.; Суровегина, Е.А.; Shashkin, V. I.

doi:10.21883/ftp.2018.11.46592.14

Cited by 1 publication

(1 citation statement)

References 10 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Нью Даймонд Технолоджи" [11]. Таким образом, в работе показано, что импульсный лазерный отжиг омических контактов Mo/Ti к алмазу приводит к эффективной диффузии атомов углерода в слой титана и формированию карбида титана в переходной области и не сопровождается заметным возрастанием примеси кислорода.…”

unclassified

Использование импульсного лазерного отжига для формирования омических контактов Mo/Ti к алмазу

Дроздов¹,

Архипова²,

Дроздов³

et al. 2020

Письма В Журнал Технической Физики

Self Cite

View full text Add to dashboard Cite

The effect of pulsed laser annealing on the formation of ohmic Mo/Ti contacts to diamond is studied. Using the method of secondary-ion mass spectrometry, it was shown that laser annealing of the contacts leads to effective diffusion of carbon atoms into the titanium layer and the formation of titanium carbide in the transition region with a diamond with a thickness of 15-20 nm. Rapid thermal annealing of the same contact system is accompanied by a sharp increase in the oxygen content in the titanium layer and in the transition layer with diamond and the formation of titanium oxide. In this case, the titanium carbide phase is not formed in the Ti-C transition layer. It was also shown that, in the used laser annealing mode, graphitization of the contact layer of diamond does not occur, which could drastically reduce the mechanical strength and adhesion of the contacts.

show abstract

unclassified