Исследование сегрегации сурьмы при эпитаксиальном росте на подложках Si с различной кристаллографической ориентацией

Abstract

Исследована сегрегация Sb в слоях Si, выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии на подложках Si с кристаллографической ориентацией (111), (110), (115), и проведено сравнение полученных результатов для этих ориентаций с результатами для наиболее распространенной ориентации (001). Обнаружено, что качественно ход температурных зависимостей коэффициента сегрегации Sb (r) схож для всех исследованных ориентаций, в частности можно выделить два характерных температурных интервала, соответствующих режиму кинетических ограничений и термодинамически равновесному режиму сегрегации. Однако количественно данные для величины r при исследованных ориентациях заметно отличаются от таковых для (001) при одинаковых температурах. Обнаруженные на зависимостях r от температуры роста участки, где r меняется на 5 порядков в узком интервале температур, позволили адаптировать метод се-лективного легирования, основанный на контролируемом использовании эффекта сегрегации, предложенный авторами ранее для структур на Si(001), к структурам, выращенным на подложках Si иных ориентаций. С помощью данного метода были изготовлены селективно-легированные структуры Si : Sb/Si(111), в которых изменение концентрации Sb на порядок происходит на масштабах в несколько нанометров.

Analysis of mobile networks 4th generation and prospects for implementation in Ukraine

“…Є п'ять діапазонів, де можна впроваджувати 4G LTE: 800 МГц, 900 МГц, 1800 МГц, 2300 МГц і 2500 МГц, але на частотах 800 МГц працюють CDMA-оператори «Інтертелеком» і «Телесистеми України» -PEOPLEnet, а на 900 МГц та 1800 МГц функціонує 2G-зв'язок «Київстар», «МТС-Україна» та «Астеліт» -life:). Як вже згадувалося, частоти 2G-зв'язку мають звільнитися під LTE [17]. Видача частот в Україні на початку розвитку стільникового зв'язку велася безсистемно, що призвело до так званого ефекту «черезсмуговості» або фрагментованості спектру, тому для реального впровадження 4G потрібний рефармінг -технічна процедура консолідації радіочастотного ресурсу для збільшення суцільних смуг частот.…”