Исследование Процессов Ультразвукового Активирования Диффузии И Десорбции В Электровакуумных Приборах

Abstract

Представлены результаты исследования десорбции газа с внутренних поверхностей и диффузии из толщи деталей сверхвысокочастотных электровакуумных приборов за счет одновременного термического и ультразвукового воздействия на корпус прибора. Приведены сравнения парциальных и общих давлений при различных условиях откачки. Дано физическое объяснение механизма ультразвукового активирования процессов диффузии и десорбции газовых компонентов в вакууме.