2023
DOI: 10.54708/26587572_2023_541470
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Зависимость Потока Энергии На Подложку От Длительности Импульсов Разрядного Тока И Потенциала Смещения В Процессе Магнетронного Распыления Меди Импульсами Высокой Мощности

Владимир Олегович Оскирко,
Александр Николаевич Захаров,
Александр Сергеевич Гренадеров
et al.

Abstract: Данная работа посвящена измерению энергетического воздействия на подложку в процессе сильноточного импульсного магнетронного распыления (HiPIMS) меди. Уменьшение длительности импульсов тока от 100 до 8 мкс при амплитуде 150 А и средней мощности разряда 1 кВт приводит к увеличению на 50% потока энергии на подложку, находящуюся под плавающим потенциалом. При этом удельная энергия, сообщаемая единице объема осаждаемого покрытия, в 2–3 раза выше, чем в режиме постоянного тока. Увеличение потенциала смещения подлож… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...

Citation Types

0
0
0

Publication Types

Select...

Relationship

0
0

Authors

Journals

citations
Cited by 0 publications
references
References 8 publications
(12 reference statements)
0
0
0
Order By: Relevance

No citations

Set email alert for when this publication receives citations?