Диэлектрические потери в MPCVD-алмазах в полосах частот 25-30 и 250-350 GHz в зависимости от параметров процесса роста

Abstract

Проведено комплексное систематическое исследование влияния различных параметров процесса роста CVD-алмазов в микроволновой плазме (MPCVD-алмазов), таких как температура подложки, химический состав газовой смеси и др., на диэлектрические потери в двух частотных полосах (25−30 и 250−350 GHz) более чем для десяти образцов различных серий. Выявлена корреляция между величинами потерь в этих двух полосах частот.