Влияние условий магнетронного распыления на структуру Zr-Pd покрытий

Abstract

Structureless Zr75Pd25 amorphous metal coatings were obtained using DC magnetron sputtering with an average deposition rate of 1.3 nm/s and a substrate temperature of 40 oC, as well as the crystalline coatings at a higher temperature. The equilibrium phase composition is observed at a temperature 350 oC. At intermediate temperature mainly the PdZr phase is formed against the equilibrium PdZr2 phase. The roughness of the obtained amorphous coatings is of 0.2–0.5 nm, which is an order of magnitude lower than that of crystalline coatings of the same composition.

Нанесение Аморфного Металлического Покрытия На Полые Стеклянные Микросферы

“…Получаемые оболочки имеют столбчатую кристаллическую структуру. Шероховатость и проницаемость аморфных металлических (АМ) покрытий на больших плоских подложках могут быть значительно ниже, чем у пленок с зернистой кристаллической структурой [5][6][7]. Можно предположить, что и на сфере АМ-оболочка по этим параметрам будет превосходить кристаллические аналоги.…”

“…Можно предположить, что и на сфере АМ-оболочка по этим параметрам будет превосходить кристаллические аналоги. В работе [7] установлено, что условия получения аморфного сплава магнетронным распылением в системе Pd−Zr ограничены диапазоном низкой температуры подложки (менее 90 • C). Более высокая температура способствует получению кристаллических пленок в этой системе.…”

Microstructure of Thin Films in Microsystems Technology

“…Состояние поверхности оказывает существенное влияние на структуру наносимых пленок и параметры элементов в целом [1]. Электрические свойства тонких пленок зависят от ряда параметров их формирования: температуры нанесения и скорости осаждения [2,3], материала подложки [3,4], конфигурации электромагнитного поля и площади мишени при магнетронном распылении [5]. На проводящие свойства тонких металлических пленок влияют структурные дефекты пленки (кристаллиты и их размер [6,10], аморфная фаза, пористость, внутренние микронапряжения [7]).…”