Влияние термического отжига на свойства многослойных зеркал Mo/Be

Abstract

The influence of thermal action on X-ray optics performance and structure of films and transition regions in multilayer Mo/Be mirrors optimized for a reflection maximum in the interval 11.2–11.4 nm at normal incidence has been considered. The annealing temperature reached 300°C and the annealing time was 1 and 4 h. It has been shown that after thermal annealing in vacuum for 1 h at 300°C, the reflection coefficient rises; however, when the annealing time grows to 4 h, it drops. Grains in molybdenum films become finer, and the profiles of transition regions change from exponential to linear. The period of multilayer mirrors has remained the same under all annealing conditions.

Микроструктура Переходных Границ В Многослойных Мо/Ве-Системах

“…Важным преимуществом МЗ Mo/Be над Mo/Si является их высокая термическая стойкость. В работах [12,13] показано, что вплоть до температур 350 • C МЗ Mo/Be сохраняют отражательные свойства. Более того, при определенных режимах отжига наблюдается некоторое увеличение коэффициента отражения (порядка абсолютного 1%).…”