Влияние растворителя сульфида аммония на пассивацию поверхности GaSb(100)

Abstract

Методами рентгеновской фотоэмиссионной спектроскопии и сканирующей электронной микроскопии исследовано влияние растворителя на химический состав сульфидного слоя, образующегося на поверхности GaSb(100). Обработка поверхности GaSb(100) в растворах сульфида аммония приводит к формированию толстого (несколько десятков нанометров) покрытия, представляющего собой смесь различных бинарных и тройных сульфидов галлия и сурьмы. Обнаружено различие химического состава пассивирующих сульфидных слоев, сформированных в водном и спиртовом растворах сульфида аммония. Отжиг сульфидного слоя при 360oC приводит к частичной десорбции сурьмы и распаду тройных сульфидов на бинарные составляющие. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44803.8517a