Влияние Морфологии Поверхности Микрополосковой Линии СВЧ На Ее Передаточные Характеристики

Abstract

Определены основные морфологические параметры 50-омных Au/i-GaAs\100\ тонкопленочных микрополосковых золотых СВЧ копланарных линий передач длиной lW, влияющие на активное сопротивление их скин-слоя R и индуктивность L. Получено, что латеральный характер распределения зерен и развитый рельеф их поверхностей приводит к возникновению дополнительных процессов рассеяния электронов как на границах зерен, так и на неоднородностях рельефа. Малый размер зерен, dx<133 нм, на частотах f>10 ГГц переводит аномальный скин-эффект в нормальный. При этом нелинейная зависимость R от lW в локальном приближении обеспечивается фрактальной геометрией рельефа поверхности и приповерхностной области копланарных линий передач, а нелинейная зависимость индуктивности L от lW --- не только фрактальными особенностями рельефа двухмерной поверхности копланарных линий передач, но и фрактальными особенностями трехмерного распределения ее зерен. Ключевые слова: СВЧ линии, скин-эффект, морфология поверхности, фракталы, размерность Хаусдорфа--Безиковича, S-параметры рассеяния, компактная модель, экстракция параметров.

GaN heterostructures in microwave electronics: scientific papers review

“…В работе [8], представленной коллективом авторов из НИИ «Полупроводниковых приборов» (г. Томск), исследовались частотные зависимости минимальных значений коэффициента шума, шумового сопротивления и малосигнального коэффициента усиления по мощности гетероэпитаксиальных HEMT-транзисторов на полуизолирующей подложке из карбида кремния (SiC). Результаты исследований шумовых характеристик 5-ваттных AlGaN / GaN HEMT-транзисторов с Z-затвором Шоттки в частотном диапазоне 1-9 ГГц позволили определить малошумящие режимы работы транзистора [8], а также объяснить аномальное поведение частотной зависимости коэффициента шума, которое заключается в частотной зависимости дополнительного сопротивления, вносимого инжектированными в буферный слой 2D-электронами [8].…”