Влияние Кристаллической Структуры На Электрические Свойства Тонкопленочных PZT Структур

Abstract

В работе предложен и реализован новый метод двустадийной кристаллизации пленок цирконата-титаната свинца (PZT) с использованием затравочного подслоя с низким содержанием избыточного свинца. Из рас-творов с избытком свинца 0−5 wt% формируют затравочный слой с сильной текстурой зерен перовскита Pe (111), быстрый рост которых обеспечивается нанесением основной пленки из растворов с высоким содержанием свинца. В результате в пленках формируется сильная Pe (111) текстура с полным подавлением ориентации Pe (100). Анализ вольт-амперных зависимостей переходных токов и распределений локальной проводимости, измеренных методом контактной АСМ, выявил два различных механизма протекания токов, определяемыx ловушками в объеме и на границах раздела перовскитных зерен.Работа поддержана программой Минобрнауки РФ № 11.2259.2017/ПЧ (АС), грантом РФФИ № 16-02-00845 а (КВ, ДС).