ВЛИЯНИЕ БОМБАРДИРОВКИ ИОНАМИ Ar+ НА ЭЛЕКТРОННЫЕ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК CdS

Abstract

Изучено влияние бомбардировки ионами Ar+ на состав, зонно-энергетические параметры и оптические свойства пленок CdS. Показано, что при низких дозах ионов Ar+ (D ≤ 5×1015 см−2) поверхность обогащается атомами S, а при высоких дозах (D ≥ 5×1015 см−2) атомами Cd.