Вертикальное упорядочение аморфных нанокластеров Ge в многослойных гетероструктурах a-Ge/a-Si:H

Abstract

A multilayer heteronanostructure consisting of three pairs of amorphous silicon and amorphous germanium (a-Ge/a-Si:H) layers grown on a silicon substrate by low-frequency plasma-chemical deposition at temperature 225 oC was investigated. From the analysis of the Raman spectra, the phase composition of the silicon and germanium layers was determined, which showed that the layers are completely amorphous. The transmittance electron microscopy images show vertically ordered amorphous Ge nanoclusters initiated by local inhomogeneities in the first germanium layer, the lateral dimensions of which increase from the lower to the upper layer.

Особенности фотоэлектронных спектров Ge, имплантированного ионами Na-=SUP=-+-=/SUP=-

“…В настоящее время хорошо изучены состав, структура, фотоэлектрические и оптические свойства наноразмерных систем на основе нанопленок и квантовых точек Ge, полученных методами молекулярно-лучевой эпитаксии [1,6,7], термического осаждения [8,9] и ионной имплантации [10][11][12][13]. В частности, в [11] впервые изучена возможность создания плазмонного композиционного материала Ag:GeSi на подложке c-Si при последовательной высокодозовой имплантации ионами Ge + и Ag + .…”