Атомная Структура Аморфных Нестехиометрических Оксидов И Нитридов Кремния

Gritsenko, V. A.

doi:10.3367/ufnr.0178.200807c.0727

Cited by 31 publications

(9 citation statements)

References 24 publications

(1 reference statement)

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…Несмотря на то, что диэлектрическое защитное покрытие является аморфным, ИК-колебательные спектры несут информацию о ближнем порядке атомной структуры, который определяет подобие решеточного поглощения. При нормальном падении регистрируются только поперечные оптические фононы, а при наклонном падении регистрируются поперечные и продольные фононы [4,5]. Результаты измерений показали, что при выборе отражающих покрытий зеркал, предназначенных для работы под углами более 15 • (поворотные и сканирующие зеркала для ИК-диапазона λ = 3-14 мкм), необходимо тщательно учитывать химический состав, технологию изготовления и толщину защитного покрытия, чтобы исключить провалы значения коэффициента отражения в некоторых диапазонах длин волн, значительно снижающие качество оптического тракта приборов ИК-диапазона.…”

Section: метрологические характеристики модернизированного комплекса unclassified

Metrological and Methodical Aspects of Spectral-Energetic Calibrations of Optoelectronic ERS Equipment

Trofimov¹,

Gektin²,

Zorin³

et al. 2018

Rocket-space device engineering and information systems

View full text Add to dashboard Cite

Метрологические и методические аспекты спектрально-энергетических калибровок оптико-электронной аппаратуры ДЗЗ Д. О. Трофимов, trofimov_do@spacecorp.ru АО «Российские космические системы», Москва, Российская Федерация Ю. М. Гектин, к. т. н., petrov_sv@spacecorp.ru АО «Российские космические системы», Москва, Российская Федерация С. М. Зорин, к. т. н., zorin_sm@spacecorp.ru АО «Российские космические системы», Москва, Российская Федерация А. А. Зайцев, zaytsev_aa@spacecorp.ru АО «Российские космические системы», Москва, Российская Федерация Аннотация. В работе представлены результаты модернизации и метрологические характеристики измерительного комплекса «Камелия» АО «Российские космические системы», а также методические аспекты спектрально-энергетических калибровок оптико-электронной аппаратуры дистанционного зондирования Земли (ДЗЗ) и результаты исследования распределения яркости ленточного тела накала лампы ТРУ 1100-2350 в рабочем режиме. Приведены оптические схемы измерений спектральных характеристик оптико-электронной аппаратуры ДЗЗ, оптических элементов и блоков на базе измерительного комплекса «Камелия». Проведенные работы обеспечили возможность не только получения относительных спектральных характеристик многозональных сканирующих устройств (МСУ), но также и измерения спектров пропускания и отражения оптических элементов (спектральных фильтров, зеркал, линз) и оптических блоков аппаратуры ДЗЗ в диапазоне длин волн λ = 0,4-14 мкм. Кроме того, разработана методика измерения спектральных характеристик источников оптического излучения (λ = 0,4-14 мкм) и представлены результаты исследования распределения яркости ленточного тела накала лампы ТРУ 1100-2350. Ключевые слова: метрологические характеристики, калибровка, многозональное сканирующее устройство (МСУ), измерительный комплекс, спектральная характеристика, оптическая схема, спектральная плотность энергетической яркости (СПЭЯ)Abstract. The paper presents the results of modernization and metrological characteristics of the Kameliya measuring complex of the JSC "Russian Space Systems", as well as the methodological aspects of the spectral-energetic calibrations of the optoelectronic ERS equipment and the results of the brightness distribution study of the ribbon filament body of the TRU 1100-2350 in the operating mode. Optical circuits for measuring the spectral characteristics of the optoelectronic ERS equipment, optical elements and blocks based on the Kamelia measuring complex are presented. The carried out work provided the possibility of obtaining the relative spectral characteristics of not only multi-zone scanning devices, but also measurements of transmission and reflection spectra of optical elements (spectral filters, mirrors, lenses) and optical units of remote sensing equipment in the wavelength range λ = 0,4-14 μm. In addition, a method has been developed for measuring the spectral characteristics of optical radiation sources (λ = 0,4-14 μm) and the results of the study of the brightness distribution of the filament lamp body of the TRU 1100-2350 l...

show abstract

Section: метрологические характеристики модернизированного комплекса unclassified

Metrological and Methodical Aspects of Spectral-Energetic Calibrations of Optoelectronic ERS Equipment

Trofimov¹,

Gektin²,

Zorin³

et al. 2018

Rocket-space device engineering and information systems

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…SiO x имеет сложную структуру и его электрофизические свойства радикальным образом зависят от состава (величины x), который определяется условиями его синтеза и дальнейшей обработки [8,9]. Несмотря на мно-гочисленные исследования SiO x [10,11], обусловленные, главным образом, его использованием в оптоэлектронных устройствах и солнечных элементах, строение и электронная структура SiO x , синтезированного методом ПХО, систематически не изучена.…”

Section: Introductionunclassified

Наноразмерные флуктуации потенциала в SiO-=SUB=-x-=/SUB=-, синтезированном плазмохимическим осаждением

Перевалов¹,

Володин²,

Новиков³

et al. 2019

Физика Твердого Тела

Self Cite

View full text Add to dashboard Cite

The atomic structure and electron spectrum of a-SiOx:H films deposited on silicon and glass substrates by the plasma enhanced chemical vapor deposition method are considered in this paper. The film stoichiometric parameter «x» varied in the range from 0.57 to 2 depending on the oxygen supply to the reactor conditions. The film structures and the electronic structure peculiarities characterization, depending on the parameter «x» value, were carried out using a set of structural and optical techniques, as well as the ab initio quantum-chemical simulation for the model SiOx structure. It was established that the studied SiOx:H films mainly consist of silicon suboxide SiOy with SiO2 and amorphous Si clusters. Based on the spatial chemical composition fluctuations, the electron and hole potential fluctuations model for SiOx is proposed. The obtained results will allow a more accurate charge transport modeling in a-SiOx:H films, which is important for creating nonvolatile memory and memristor elements on the base of SiOx.

show abstract

“…Химический состав оксинитрида кремния (SiO x N y ) может быть плавно изменен от SiO 2 до Si 3 N 4 . Как следствие, соответственно могут изменяться его физические характеристики и свойства [2]. Оксинитрид кремния имеет меньшую плотность состояний на гра-нице с Si.…”

Section: Introductionunclassified

Ионный синтез кристаллической фазы Ge в пленках SiO-=SUB=-x-=/SUB=-N-=SUB=-y-=/SUB=- при отжиге под высоким давлением

Tyschenko¹,

Кривякин²,

Володин³

2018

Физика И Техника Полупроводников

View full text Add to dashboard Cite

The nucleation of the crystalline Ge phase in SiO_ x N_ y films implanted with Ge^+ ions with the energy 55 keV to doses of 2.1 × 10^15–1.7 × 10^16 cm^–2 and then annealed at a temperature of T _a = 800–1300°C under pressures of 1 bar and 1–12 kbar is studied. From analysis of the Raman spectra, it is concluded that amorphous Ge precipitates increase in size upon hydrostatic compression at a temperature of 1000°C. Raman scattering at optical phonons localized in Ge nanocrystals is observed only after annealing of the samples with the highest content of implanted atoms at a temperature of 1300°C. In the photoluminescence spectra, a peak is observed at the wavelength ∼730 nm. The peak is considered to be the manifestation of the quantum-confinement effect in nanocrystals ∼3 nm in size.

show abstract

Атомная Структура Аморфных Нестехиометрических Оксидов И Нитридов Кремния

Cited by 31 publications

References 24 publications

Metrological and Methodical Aspects of Spectral-Energetic Calibrations of Optoelectronic ERS Equipment

Metrological and Methodical Aspects of Spectral-Energetic Calibrations of Optoelectronic ERS Equipment

Наноразмерные флуктуации потенциала в SiO-=SUB=-x-=/SUB=-, синтезированном плазмохимическим осаждением

Ионный синтез кристаллической фазы Ge в пленках SiO-=SUB=-x-=/SUB=-N-=SUB=-y-=/SUB=- при отжиге под высоким давлением

Contact Info

Product

Resources

About