The study deals with the methodology and thickness determination of the corrosion layers of ferritic steel samples using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) equipped with the ion-gun source system enabling destructive depth profiling. It is well known that XPS is one of the most often used techniques for determining both the thickness and chemical composition of passive films or corrosive layers. Unfortunately, the thickness of ion-gun-etched layers can only be estimated for simple samples and standards. Corrosion layers are heterogeneous and vary in composition; therefore, the etching rate is specific for each corrosion layer. The results of this work provide the possibility for a fast and easy determination of the ion-gun sputtering effect with exact settings for multi-compound chemical structures. The knowledge related to the thickness of corrosion or passivation layers would help greatly in their characterization. Keywords: X-ray photo-electron spectroscopy, ion gun, depth profiling, corrosion layer [tudija opisuje metodologijo in dolo~evanje debeline korozijskih plasti na vzorcih feritnega jekla z uporabo rentgenske fotoelektronske spektroskopije (XPS; angl.: X-ray Photoelectron Spectroscopy). Uporabljena naprava je bila opremljena z ionsko pu{ko, ki omogo~a destruktivno globinsko profiliranje. Znano je, da je XPS ena od najbolj uporabljanih tehnik za dolo~evanje tako debeline kot tudi kemijske sestave pasivacijskih filmov ali korozijskih plasti. @al se debelina plasti, jedkane z ionsko pu{ko, lahko oceni samo na enostavnih vzorcih in standardih. Korozijske plasti so heterogene in imajo spremenljivo kemijsko sestavo, zato je hitrost jedkanja specifi~na za vsako korozijsko plast posebej. Rezultati tega dela zagotavljajo mo`nost hitrega in enostavnega dolo~evanja u~inkov jedkanja z ionsko pu{ko z natan~nimi nastavitvami za ve~komponentne kemijske strukture. Znanje, pridobljeno v okviru tega dela, bo lahko v precej{njo pomo~pri karakterizaciji debeline korozijskih ali pasivacijskih plasti. Klju~ne besede: rentgenska fotoelektronska spektroskopija, ionska pu{ka, globinsko profiliranje, korozijska plast