Utilisation du silicium nanostructuré dans un générateur thermoélectrique pour la réduction des pertes thermiques

Abstract

Dans cet article, nous présentons des microgénérateurs thermoélectriques (µTEG) planaires réalisés en technologie Silicium compatible CMOS, et destinés à la récupération de toute forme d'énergie thermique. Ceux-ci utilisent des matériaux faible coût, abondants et respectueux de l'environnement. La captation de la chaleur est effectuée à l'aide d'un concentrateur, en Silicium. La configuration « semi 3D » développée utilise des membranes suspendues et nécessite, pour éviter de les casser, la mise en oeuvre de structures de maintien, appelées bossages. L'objectif de ce travail est d'évaluer l'amélioration des performances de conversion des µTEG résultant de la réduction des pertes thermiques latérales suite à l'anodisation sélective de ces bossages. La simulation thermique de µTEGs intégrant de tels bossages en Si poreux montre que les puissances générées pourront être augmentées jusqu'à 65%. ABSTRACT. In this paper, we present a planar thermoelectric microgenerator (µTEG) based on CMOS-compatible silicon technology to harvest all forms of thermal energy. These have made by using low cost, abundant and ecofriendly materials. The heat harvesting has performed with a silicon concentrator. The developed semi-3D configuration needs safety support called 'boss' to avoid the breaking up of the membranes. The objective of this work is to evaluate the improvement of these μTEGs performance resulting from the reduction of lateral heat losses by using selective anodizing of these bosses. The thermal modeling of µTEGs embedding porous silicon bosses shows an increase in output power up to 65%. MOTS-CLÉS. énergie, microgénérateur, thermoélectrique, planaire, silicium poreux, modélisation.