“…7 Glass cut by NPTC with YAG [39] (a) Plate; (b) Tube 图 8 不同加工方法的加工边缘强度对比 [40] Fig. 8 Comparison of bending strength of cutting section with multiple cut methods [40] 2009 年富士康公司与俄罗斯莫斯科国立仪器 与信息大学 Kondratenko 等 [41] 研究了激光诱导热裂 切割厚度达 4~19 mm 的玻璃, 他们采用 CO 2 激光(实 际用 20~100 W), 双透镜(柱镜+球镜)形成线形光斑 (长约 40~60 mm, 宽约 1.5~2.5 mm), 辅以空气水混 合冷却法控制工艺过程中的开裂阶段, 对 800 mm 800 mm4mm 的玻璃进行了切割, 并对用机械、磨 削及激光切割的 6 mm 厚玻璃的强度进行了比较, 得到激光诱导热裂切割玻璃由于断面无表面微裂纹, 质量较好, 其边缘强度是传统机械切割强度的 5.5 倍。 断面质量是影响板材强度的关键因素。对于双 层玻璃, 提升断面质量的有效方法是使上下层同时 得到加热和冷却。2014 年, 韩国 Choi 等 [42] 提出在 第一层玻璃下表面涂炭, 并通过脉冲 YAG 激光扫 描该玻璃产生等离子体, 该等离子体作用在第二层 玻璃上, 改变该层玻璃的光学特性, 同时产生局部 的快速加热和冷却, 使得第二层玻璃开裂分离, 其 原理如图 9 所示。研究指出激光参数(激光能量与脉 冲宽度)和两层玻璃间的距离是影响切割质量的主 要因素, 给出了一组最优参数,即当激光峰值功率密 度为 45~50 GW/cm 2 , 玻璃间距为 150 μm, 脉冲宽 度为 4 ns 时, 断面的质量最好。 除了激光热源外, 2016 年 Wang 等 [43] 利用短边 收缩聚焦波导, 成功地将微波聚焦成椭圆线型体加 热光斑, 实现了同时体加热切割较厚玻璃和碳化硅 陶瓷片的突破性进展, 其原理和切割结果分别见图 10 和图 11。研究指出, 短边收缩聚焦波导产生的热 源为椭圆形体加热微波热源, 热源在厚度方向透过 性较激光热源好, 能够对厚度方向的非透明和透明 材料进行较均匀的加热。由此可知, 利用较低的 图 9 激光诱导等离子体加工玻璃原理图 [42] Fig. 9 Principle diagram of laser induced plasma processing glass [42] 图 10 微波热裂法切割实验装置图 [43] Fig.…”