Tunable, membrane-based, pneumatic micro-mirrors

Process and material properties of polydimethylsiloxane (PDMS) for Optical MEMS

“…Due to its very good contour accuracy (<10 nm), it has been increasingly used in the micro-and nanotechnologies since 1995 [2]. It is often found in fluidics (valves, pumps, fluidic circuits) [3][4][5][6], optical systems (adaptive lenses, tilting mirrors) [7][8][9][10][11][12] and sensors (acceleration sensors, tactile sensors, chemical sensors, medical sensors) [13][14][15][16]. Since the aforementioned primary use of silicones is in protection of electronic components, foremost their electronic and thermal material parameters are known.…”

Indication of Pressure Over Time Inside the Fluid Flow Using a Pneumatic Photonic Crystal

“…Хоча цікаві оптичні прояви впорядкованих структур -оптичних кристалів, вперше були відмічені ще у роботі Релея [7], сучасний етап застосування матеріалів з фотонною щелиною почався з робіт Е. Яблоновича і С. Джона [8,9]. Різноманітні властивості фотонних структур виявили можливості створення ідеальних дзеркал, високо-добротних оптичних резонаторів та фільтрів, робочих частин логічних комірок, керованих дзеркал, гнучких хвильоводів та багатьох інших застосувань [10][11][12][13][14]. У даному дослідженні ми звертаємо увагу на застосування опто-механічних властивостей пневматичного фотонного середовища у якості індикатора тиску за часом в середині потоку рідини.…”

New technologies for tunable micro-optics

“…Membrane-based optics may also be expanded to cover a range of further tunable micro-optical elements, in particular pneumatically-actuated scan as well as tip-tilt micro-mirrors. 13,14 …”