Titreşimli İnce Film Kaplama Sistemi Tasarımı ve Yüzey Kaplamasının Test Edilmesi

Abstract

Yüzey ince filim kaplama sistemleri elektronik sensörler, yarıiletken cihazlar, gözlük camları, gözlem teleskoplarına kadar birçok alanda kullanılmaktadır. İnce film kalınlığı kalitesi ve uygulama yapılan yüzey çeşidine göre birçok kaplama yöntemi geliştirilmiştir. En fazla kullanılan cihaz maliyeti düşük olan spin kaplama yönteminde yaklaşık olarak(2000-3000 rpm) devirde dönen kaplanacak yüzey üzerine, uçucu organik çözücü ve kaplanacak olan kimyasal bileşik çözeltisi kaplanacak dönen yüzeyin üzerine damlatılır. Yüzeyde oluşan buharlaşma ve merkezkaç kuvvetin etkisi ile yüzeyde ince bir filim tabakası oluşmaktadır. Bu yöntem düşük maliyetlidir ve vakum sistemi ve buharlaştırma sistemleri içermeyen bir kaplama yöntemidir. Dönen düz yüzeyin altında bulunan motorun devir sayısı ayarlandığında uçucu organik bileşenin buharlaşma hızına bağlı olarak farklı kalınlıklarda ince filimlerin yüzeyde oluşturulabilmesine de olanak sağlamaktadır.Bu çalışmada sık kullanılan spin kaplama yöntemine alternatif olabilecek uygun fiyata tasarlanabilecek titreşimli yüzey kaplama sistemi üretilmiştir. Çözücü buharlaşması ile kaplanan örnekler üzerinden oluşan ince filim kalitesi spin kaplama ile karşılaştırılmıştır. Bu kaplama yöntemin verimliliği de kaplanan yüzey SEM ve UV-Vis yöntemleri ile incelenerek değerlendirilmiştir. Titreşim ile kaplamada kaplanan yüzeyin homojen ve düzgün yapıda olduğu da elde edilen veriler ile incelendiğinde görülmüştür.