1997
DOI: 10.1117/1.601219
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

Thermal wave pyroelectric thin film hydrogen sensor with extended detection dynamic range

Abstract: A novel thermal wave based pyroelectric thin film solid state sensor shown to be capable of responding to H 2 gas flows in N 2 or in air under ambient temperature and pressure conditions is described. The new sensor exhibits an extremely wide detection dynamic range: 100% to 25 ppm hydrogen in nitrogen, and a 10 to 90% signal rise time of approximately 10 s, limited by the inertia of the gas delivery system. The extended dynamic range is achieved through two complementary operating mechanisms, resulting in a t… Show more

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...
2
1
1

Citation Types

0
2
0
2

Year Published

2001
2001
2006
2006

Publication Types

Select...
3
2
1

Relationship

0
6

Authors

Journals

citations
Cited by 6 publications
(4 citation statements)
references
References 12 publications
0
2
0
2
Order By: Relevance
“…This ceramic is a highconductivity material based on SiO 2 -Al 2 O 3 and is used as a heat sink in the Russian microelectronics industry. 8 The sitall thickness was ϳ1 mm. The emitted IR radiation signals from the surface of the sample were chopped and detected by the MCT detector.…”
Section: Differential Infrared "Ir… Radiation and Temperature Meamentioning
confidence: 99%
See 1 more Smart Citation
“…This ceramic is a highconductivity material based on SiO 2 -Al 2 O 3 and is used as a heat sink in the Russian microelectronics industry. 8 The sitall thickness was ϳ1 mm. The emitted IR radiation signals from the surface of the sample were chopped and detected by the MCT detector.…”
Section: Differential Infrared "Ir… Radiation and Temperature Meamentioning
confidence: 99%
“…The thermal conductivity of the substrate ceramic material ''sitall'' is 1.5 W/mk. 8 The incident thermal flux q 0 was obtained from the absorbed laser beam power P 1…”
Section: Theoretical Signal Analysis and Instrumental Sensitivitymentioning
confidence: 99%
“…Οι πιο διαδεδομένοι αναλύτες-στόχοι είναι το μεθάνιο, το υδρογόνο, το προπάνιο και διάφορα άλλα οργανικά πτητικά συστατικά. Οι ανιχνεύσιμες ποσότητες είναι της τάξης των ppm [68][69][70][71][72] . Τέλος, ο μηχανισμός αλληλεπίδρασης είναι μη αντιστρεπτή χημική αντίδραση καύσης σε υψηλές θερμοκρασίες απελευθερώνοντας την μετρούμενη θερμότητα.…”
Section: σχήμα 21: ταξινόμηση χημικών αισθητήρωνunclassified
“…Επίσης δεν είναι λίγες οι διατάξεις που εκμεταλλεύονται το πυροηλεκτρικό φαινόμενο 68 και το φαινόμενο Seebeck 69,70 με σκοπό την μέτρηση θερμοκρασιακών μεταβολών. Η σύζευξη δύο ανόμοιων αγωγών ή ημιαγωγών παράγει μια ηλεκτρεγερτική δύναμη σύμφωνα με το θερμοηλεκτρικό φαινόμενο ή φαινόμενο Seebeck που το αποδίδει στη θερμοκρασιακή διαφορά.…”
Section: σχήμα 21: ταξινόμηση χημικών αισθητήρωνunclassified