The optimization of the production conditions of laser materials on the basis of multiquantum structures as an active layer, requires the knowledge of the geometrical structure, chemical composition, and the stress profile of the applied superlattice. These data can be established by the method of X-ray diffraction, since the periodic hyperstructure of the superlattice in the nanometer region has a detectable influence on the X-ray diffraction pattern. The characterization of superlattices by this technique is performed by the help of an X-ray collimator equipment. In principle i t represents a double crystal diffractometer with a slit monolithic Si-crystal, which is an almost ideal collimator and monochromator. A short theoretical consideration is given of the superlattice diffraction and first results. Additional first experimental results of X-ray diffraction measurements on single layer-structure are presented.
ZurOptimierung der Herstellungsbedingungen von Laserstrukturen auf der Basis von Multiquantenwall-Strukturen (MQW's) als aktive Schicht, ist man auf Aussagen zur geometrischen Struktur, zur chemischen Zusammensetzung und zum Spannungsprofil der verwendeten Supergitter angewiesen. Diese Informationen vermag die Methode der Rontgenbeugung zu liefern, da die periodische oberstruktur des Supergitters im Nanometerbereich einen nachweisbaren EinfluD auf das Rontgenbeugungsbild hat. Die Charakterisierung von Supergittern mit Hilfe der Rontgenbeugung erfolgte mit einer Rontgenkollimatoranlage. Diese stellt vom Prinzip her ein Doppelkristalldiffraktometer mit einem geschlitzten monolithischen Silizium-Kristall als nahezu idealen Kollimator und Monochromator dar. Es folgt eine theoretische Betrachtung zur Beugung an einem Supergitter und die Darstellung von ersten Ergebnissen. Erste experimentelle Untersuchungen an einer Einschicht-Struktur werden vorgestellt. l) LinnBstr. 5, Leipzig 7010, GDR. 2, Nishinomiya, Japan.