In den letzten Jahren hat die Rastersondenmikroskopie eine große Bedeutung in verschiedenen Bereichen der naturwissenschaftlichen und technischen Forschung erlangt. Die Erfindung des Rastertunnelmikroskops im Jahre 1981 hat eine rasante Entwicklung ausgelöst, aus der eine Reihe neuer Oberflächenanalysetechniken hervorgegangen ist, die unter dem Begriff Rastersondenmikroskopie zusammengefasst werden können. Das große Potenzial der Rastersondenmikroskopie findet seinen Niederschlag in weit über 1000 Publikationen pro Jahr. Als Folge der historischen Entwicklung existieren heute für identische Techniken zum Teil mehrere Bezeichnungen und Ausdrücke, die manchmal auch irreführend sind. Daher zielt dieser Bericht auf eine Einteilung der wichtigsten Rastersondentechniken und einen Überblick über sie sowie eine Diskussion der entsprechenden Terminologie ab. Der Schwerpunkt liegt dabei auf der analytischen Bewertung der Rastertunnel‐ und der Rasterkraftmikroskopie, weil diese beiden Techniken bis jetzt die größte Bedeutung für analytische Anwendungen erlangt haben.