Приведены результаты экспериментов по отработке технологии изготовления тонкопленочных отрицательных электродов для литий-ионных аккумуляторов на основе композита Si-O-Al-Zn. Описаны режимы напыления и возможности управления структурой и фазовым составом пленок, методы диагностики структуры и фазового состава, а также результаты электрохимических испытаний отрицательных электродов. The results of experiments on development of technology for manufacturing of the thin film negative electrodes for lithium-ion batteries based on composite Si-O-Al-Zn are presented. The deposition modes, controlling of the structure and phase composition of the film, methods of diagnostics of the structure and phase composition as well as the results of electrochemical testing of negative electrodes are described.о сновными достоинствами применения кремнийсодержащих композитов для изго-товления от рицательных тонкопленоч-ных электродов литий-ионных аккумуляторов являют ся высокая удельная емкость таких элек-тродных материалов (около 50% от теоретической емкости чистого кремния) и их стабильность (на данный момент -несколько сотен циклов), что обеспечивает д лительный с рок с лу жбы электрода.Стабильность кремнийсодержащих тонк их пленок существенно выше, чем у аморфного кремния, не говоря уже о кристаллическом. В аморфном и кристаллическом кремнии много-кратное (до трех раз) увеличение удельного объ-ема при внедрении лития приводит к быстрому разрушению материа ла и потере емкостных характеристик пленок. При этом достичь удель-ной емкости более 1 000 мА·ч/г удается, как пра-вило, для пленок, толщина которых не превы-шает 300 нм [1][2][3][4][5][6]. Для достижения удельной емкости отрицательного электрода 0,8 мА·ч/см 2 и выше толщина кремнийсодержащих пленок дол ж на достигать нескольк их микрометров. Как показывает опыт и, в частности, результаты настоящей работы, с увеличением толщины пленки ее стабильность резко сни жается.Одним из перспективных способов увеличе-ния циклируемости кремнийсодержащих пле-нок толщиной в несколько микрометров явля-ется использование композитных материалов на основе кремния. В состав кремнийсодержащего композита должны входить элементы, необхо-димые для демпфирования напряжений растя-жения-сжатия при литировании и делитирова-нии электрода. Кроме того, дополнительные эле-менты препятствуют переходу кремний-лити-евого соединения Si-Li из аморфного состояния в кристаллическое, которое менее стабильно и приводит к деградации анодного материала