2005
DOI: 10.1063/1.1925157
|View full text |Cite
|
Sign up to set email alerts
|

The Experimental Laser Facility Based on the High-Power Repetitively-Pulsed E-beam-sustained CO2 Laser

Help me understand this report

Search citation statements

Order By: Relevance

Paper Sections

Select...

Citation Types

0
1
0
1

Year Published

2021
2021
2023
2023

Publication Types

Select...
3
1

Relationship

0
4

Authors

Journals

citations
Cited by 4 publications
(2 citation statements)
references
References 0 publications
0
1
0
1
Order By: Relevance
“…Схема устройства лазерной вакуумной напылительной установки: 1 -лазерная установка; 2 -линза фокусирующая; 3 -иллюминатор оптический; 4 -подвод технологических газов; 5 -смотровое окно; 6 -мишень; 7 -держатель подложки (с нагревателем); 8 -подложка; 9 -плазменный факел; 10 -камера вакуумная; 11 -подключение вакуумного насоса[25] …”
unclassified
See 1 more Smart Citation
“…Схема устройства лазерной вакуумной напылительной установки: 1 -лазерная установка; 2 -линза фокусирующая; 3 -иллюминатор оптический; 4 -подвод технологических газов; 5 -смотровое окно; 6 -мишень; 7 -держатель подложки (с нагревателем); 8 -подложка; 9 -плазменный факел; 10 -камера вакуумная; 11 -подключение вакуумного насоса[25] …”
unclassified
“…4. Diagram of the device of a laser vacuum spraying unit: 1 -laser installation; 2 -focusing lens; 3 -optical port-hole; 4 -supply of process gases; 5 -viewing window, 6 -target; 7 -substrate holder (with heater); 8 -substrate; 9 -plasma torch; 10 -vacuum chamber; 11 -connection of vacuum pump[25]…”
mentioning
confidence: 99%