Systemintegration von Mikrowellen Schottky-Mischern und MEMS-HF-Schaltern

Abstract

ÜbersichtIn den vorangegangenen Jahren wurden sowohl auf dem Gebiet der integrierten Millimeterwellen-Schaltungen auf Silizium (SIMMWIC) als auch im Bereich der Mikrosystemtechnik große Fortschritte erzielt. In der vorliegenden Arbeit wird ein Integrationskonzept von Mikrowellen-Schottky-Mischern und MEMS-HF-Schaltern vorgestellt. Neben dem Integrationskonzept und dem Herstellungsprozeß werden die Charakterisierung der Schottky-Dioden und die Anforderung für einen "zero-bias"-und des MOTT-Betriebes erläutert. AbstractIn recent years, great advances have been made in the field of silicon millimeter-wave integrated circuits (SIMM-WIC) as well as in Microsystems technology. This paper presents a integration concept for microwave Schottky-Mixer and MEMS-RF-Switchers. Beneath the integration concept and the fabrication process will be the characterization of the Schottky-diodes also as the requirements for an "zero-bias"-and the MOTT-mode elucidated.Für die Dokumentation