Nitridische Hartstoffschichten sind von Interesse fur dieverbesserung des Einsatzverhaltens von Werkzeugen fur die zahplastische Formgebung optischer Komponenten aus anorganischen Glasern. In der vorliegenden Untersuchung wurden AIN-und TiN-Schichten durch reaktives Zerstauben auf Stahl-, Hartmetall-, Glas-und Silicium-Substratmaterialien aufgebracht. Dabei wurden die Pro-zeBparameter: Gesamtgasdruck, Partialdrucke von Stickstoff und Argon, Abstand vomTarget zurn Substrat und Substrattemperatur variiert. Besonders wird auf die Beeinflussung der Schichtspannung durch die ProzeRparameter und auf das mechanische Verhalten von Schichten rnit unterschiedlichen Zug-bzw. Druckeigenspannungen eingegangen. Unter andere,m wurde beim AIN, hergestellt in DC-Tetroden-ProzeB, ein Ubergang von Zug-zu Druckspannungen bei Variation des Gesamtdruckes bzw. des Abstands zwischen Target und Substrat erreicht. Schichten rnit Druckeigenspannungen zeigten einen hoheren Widerstand gegen RiBinitiierung unter punktformiger Belastung und ein giinstigeres VerschleiBverhalten.lnvestigations on the effects of process parameters on the high temperature and wear behavior of W D coatings.Metal nitride coatings are of particular interest for the improvement of the service behavior of forming tools for the thermoplastic molding of optical components from anorganic glasses at high temperatures. In the present study AIN and TiN coatings were deposited on steel, glass and silicon substrates in reactive sputtering processes by variation of the process parameters total pressure, partial pressures of nitrogen and argon, substrate temperature and distance between target and substrate. In particular the effect of the process parameters on the film stresses as well as the mechanical behavior of films with various tensile and residual stresses have been analyzed. A transition from tensile to compressive stresses by variation of the total pressure and of the distance between target and substrate was obtained for AlN coatings prepared by a reactive d.c. tetrode process. In coatings with compressive residual stresses an increased resistance to microcrack initiation and improved wear behavior could be achieved.