Study of the Electron Density in an Inductively Coupled Plasma of Fluorine-Hydrogen-Argon Gas Mixture

Особенности Формирования Нитевидной Структуры Микроволнового Разряда В Потоке Аргона

“…По всей видимости, такой неравновесный механизм возбуждения газа в области несамостоятельного разряда позволяет реализовать в плазменном ореоле существенно неравновесное распределение температурных характеристик, измерение которых было проведено в прошлых работах [26,27]. Такой тип неравновесного непрерывного разряда атмосферного давления может быть использован для решения ряда задач современной промышленной плазмохимии [1][2][3][4][5][6][7][8][9][10][11][12][13][14]. Эффективность его использования для разрушения молекулярных соединений с высокой энергией связи продемонстрирована на примере задачи утилизации углекислого газа [10].…”

“…Изучение неравновесных микроволновых разрядов высокого давления является важной прикладной задачей. Актуальность исследований в этой области физики плазмы обусловлена в первую очередь потенциальными промышленными приложениями в задачах неравновесной плазмохимии [1][2][3][4][5][6][7][8][9][10][11][12][13][14]. Микроволновые разряды имеют высокую степень локализации энергии в области поддержания, ограниченную геометрией СВЧ пучка или волноведущей структуры, с характерным пространственным масштабом порядка длины волны греющего поля.…”

“…Это обусловливает высокую плотность мощности в зоне поддержания разряда и возможность ее удаления от стенок камеры, что важно при проведении высокотемпературных процессов и работе с химически активными соединениями [2,4,8]. Микроволновые разряды широкого диапазона давлений характеризуются высокой электронной плотностью, близкой к критическому значению для частоты греющего поля, что также важно с точки зрения повышения эффективности и скорости процессов плазмохимического синтеза [10][11][12][13][14].…”

Разряд Атмосферного Давления, Поддерживаемый Миллиметровым Излучением В Волноводном Плазмотроне

“…В настоящей работе представлена конструкция Определение концентрации плазмы проводилось методом прямого измерения набега фазы зондирующего излучения с частотой 58 GHz через слой плазмы. Данная схема хорошо себя зарекомендовала при измерении кон-центрации химически активной плазмы и подробно описана в работе [9]. При мощности нагрева 200 W измеренный набег фазы составил 1.5−2 • , что при характерном поперечном размере плазмы 10 mm соответствует концентрации электронов (1.9−2.5) • 10 11 cm −3 .…”

Atmospheric pressure discharge sustained by millimeter radiation in a waveguide plasmatron

“…The plasma density was determined by direct measurements of the phase incursion of probing radiation with a frequency of 58 GHz passing trough a plasma layer. This method was proven efficient in measurements of the density of chemically active plasma and was discussed in detail in [9]. At a heating power of 200 W, the measured phase incursion was 1.5−2 • , which corresponds to an electron density of (1.9−2.5) • 10 11 cm −3 if the characteristic crosswise plasma size is set to 10 mm.…”