Studi Struktur Kristal Lapisan Tipis Seng Oksida Yang Didoping Magnesium (Zno:mg) 0.04 Mol Menggunakan Rietveld Refinement

Abstract

Pada penelitian ini telah dilakukan pendeposisian lapisan tipis ZnO menggunakan doping Mg 0.04 mol di atas substrat silikon (Si) pada suhu 450 o C. Pendeposisian lapisan tipis ZnO dilakukan dengan metode ultrasonic spray pyrolysis pada frekuensi 1.7MHz selama 15 menit. Karakterisasi struktur kristal dilakukan menggunakan X-Ray Diffractrometer. Pengaruh Mg 0.04 mol dianalisis dengan membandingkan sampel pada lapisan tipis ZnO tanpa doping. Berdasarkan pada pola difraksi sinar-x (XRD), terkonfirmasi bahwa lapisan tipis ZnO tanpa doping (undoped) dan doping Mg memiliki struktur polikristal hexagonal wurtzite. Hasil XRD menunjukkan bahwa sampel memiliki preferential orientation sepanjang sumbu-c dengan doping Mg. Hasil XRD juga menunjukkan bahwa semua sampel lapisan tipis baik tanpa doping maupun yang didoping Mg menunjukkan bahwa (002) merupakan puncak yang lebih kuat dari puncak yang lain. Oleh karena itu, ion Mg berhasil menempati lattice site. Analisis struktur kristal lebih lanjut telah dilakukan dengan menggunakan teknik penghalusan Rietveld secara sistematis dan komprehensif.