Penelitian ini bertujuan untuk menguji adanya pengaruh faktor internal perusahaan seperti firm size, growth, tangibility, liquidity, uniqueness dan volatility pada capital structure dan pengaruhnya terhadap profitabilitas. Populasi data yang digunakan dalam penelitian ini adalah perusahaan manufaktur yang terdaftar di Bursa Efek Indonesia periode 2016-2020. Pengambilan sampel menggunakan metode purposive sampling dengan menggunakan data sekunder yang diperoleh dari website Bursa Efek Indonesia. Metode analisis yang digunakan adalah path analysis. Penelitian ini membuktikan bahwa growth berpengaruh positif terhadap capital structure sementara liquidity dan tangibility berpengaruh negatif terhadap capital structure. Firm size, growth, uniqueness berpengaruh positif terhadap profitabilitas, tangibility dan capital structure berpengaruh negatif terhadap profitabilitas. Capital structure memediasi pengaruh growth, tangibility, dan liquidity terhadap profitabilitas.