С использованием спектроскопии комбинационного рассеяния света, атомно-силовой микроскопии, дифракции медленных электронов, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, фотоэлектронной спек-троскопии с угловым разрешением и спектроскопии рентгеновского поглощения вблизи K-края углерода изучены структурные, химические и электронные свойства эпитаксиальных графеновых пленок, выращенных методом термического разложения Si-грани полуизолирующей подложки 6H-SiC в среде аргона. Показано, что результаты систематических комплексных исследований позволили оптимизировать ростовые параметры и создать надежную технологию роста высококачественных однослойных пленок графена с небольшой долей включений двухслойного графена. DOI: 10.21883/FTP.2017.08.44800.8559
ВведениеГрафен (один монослой графита) в настоящее время является предметом обширных исследований, обуслов-ленных его уникальными физическими свойствами и огромным потенциалом для создания устройств ново-го поколения, реализующих принципы баллистической электроники, спинтроники, оптоэлектроники, наноплаз-моники и других перспективных альтернатив традицион-ной полупроводниковой электронике [1]. Для того чтобы быть экономически выгодными и привлекательными для многочисленных приложений, требуются большеразмер-ные пластины высококачественного однородного графе-на. Сублимация кремния из полуизолирующей монокри-сталлической подложки карбида кремния (SiC) является одним из наиболее перспективных способов эпитакси-ального роста графена [2,3]. Большим преимуществом данной технологии является отсутствие необходимости переносить выращенную пленку на подложку диэлектри-ка, как это имеет место, например, при синтезе гра-фена на металлах. Кроме того, такая технология роста дает возможность выращивать графен на поверхности коммерческих подложек SiC диаметром до 4 дюймов, промышленный выпуск которых освоен в настоящее время. Подобные структуры могут быть использованы в стандартной технологической линейке для изготовления полупроводниковых приборов.Структурные характеристики графеновой пленки су-щественно зависят от того, на какой грани SiC кристалла происходит рост [2,4]. Пленки графена, выращенного на С-грани, обычно состоят из нескольких разориентиро-ванных друг относительно друга монослоев, а топогра-фия их поверхности выглядит как отдельные чешуйки. В противоположность этому пленки, выращенные на Si-грани, имеют более однородную структуру поверх-ности, которая представляет собой длинные террасы шириной ∼ 1−2 мкм. Как правило, такие пленки состоят из одного или совсем небольшого количества монослоев. Таким образом, морфологические и структурные харак-теристики графеновых пленок, выращенных на Si-грани SiC, являются более благоприятными для создания при-борных устройств на их основе.Задачей настоящей работы являлась систематическая комплексная диагностика графеновых пленок, полу-ченных методом термодеструкции Si-грани подложки 6H-SiC, с целью установления связи их структурных, химических и электронных характеристик с технологи-ческими параметрами роста.
Образцы и экспериментДля получе...