Specific features of the electronic and atomic structures of silicon single crystals in the aluminum matrix

О ВОЗМОЖНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МЕТАСТАБИЛЬНОЙ ФАЗЫ Al3Si В КОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНКАХ Al-Si, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННО-ЛУЧЕВЫМ И МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ

“…Пленки состава Al 0.73 Si 0.27 были получены на кремниевой подложке Si(100) в Белорусском государственном университете информатики и радиоэлектроники магнетронным распылением по технологии [2,6]. Пленки состава Al 0.75 Si 0.25 были получены в Воронежском техническом университете на подложках Si(100) ионно-лучевым напылением [7].…”

“…1 и в табл. 1, показали следующее: в пленке Al 0.73 Si 0.27 , сформированной магнетронным напылением, так же как и ранее в работе [2], обнаруживаются рефлексы кристаллических фаз алюминия и кремния (кривая 3 на рис. 1).…”

“…Нагревание приводит к распаду этой фазы на алюминий и кремний. При последующем вытравливании алюминия формируется развитая структура из нанокристаллов кремния, как это было при травлении магнетронных пленок [2].…”

“…Одним из таких перспективных направлений является разработка способов формирования и диагностики пленочных структур, содержащих на-чения силуминов с размерами кремниевых кристаллов порядка нескольких десятков нанометров представляется весьма перспективным. В работе [2] нами было установлено, что в магнетронных композитных пленках Al 1-x Si x с содержанием кремния 30 и 45 ат. % нанокристаллы кремния имеют средние размеры порядка 20 и 25 нм соответственно.…”

“…В нашей предыдущей работе [2] мы уделили основное внимание образованию нанокристаллов кремния в магнетронных композитных пленках. Образование упорядоченных твердых растворов или новых фаз не рассматривалось, хотя энергия частиц, попадающих на подложку при магнетронном и ионно-лучевом напылении, составляет несколько электронвольт, что делает возможным образование и твердых растворов, и интерметаллических метастабильных фаз.…”