Simulation of the Parameters and Temperature Characteristics of the BAW QCR based Sensors

Applied software for modeling parameters of sensors based on quartz piezoelectric elements

“…Огляд літератури. В [3] наведено результати моделювання температурно-частотних характеристик кварцових резонаторів у системі комп'ютерної математики Maple, показана можливість побудови бібліотеки підпрограм для обчислення параметрів кварцових чутливих елементів для кристалічних елементів довільної просторової орієнтації. Недолік -використання пропрієтарного математичного пакета, що вимагає ліцензування пакета та обмежує використання результатів розробки.…”

“…Програмне забезпечення для моделювання параметрів сенсорів на основі кварцових п'єзоелектричних елементів. Як показано у [3] параметри сенсорів на основі кварцових п'єзоелементів суттєво залежать від фізичних параметрів кристалічного елементу -кута зрізу, товщини, форми, наявності електродів на поверхні, наявності та величини міжелектродного зазору тощо.…”

“…Такий підхід дозволяє використовувати різні п'єзоелектричні матеріали, в т. ч. для фіксованих кутів зрізу. Модуль "Analytical Model" дозволяє обрати аналітичну модель для хвильового числа та резонансної частоти коливань п'єзоелектричної пластини, наразі підтримуються найбільш поширені моделі для п'єзоелектричних елементів із міжелектродними зазорами: модель п'єзоелемента із симетричними зазорами та масонавантаженням, модель коливань із несиметричними зазорами [14], модель коливань із одним зазором [3,5], та модель коливань із одним зазором та однобічним масонавантаженням [3,5]. Від результату вибору моделі залежать параметри еквівалентної електричної схеми, параметри якої визначено для стандартної схеми Butterworth-van Dyke.…”

“…У програмі використовуються математичні моделі отримані для різних типів кварцових п'єзоелементів, в т. ч. отримані авторами [3,5]. Програму побудовано із використанням принципів об'єктноорієнтованого програмування та дизайну.…”

A Review on Coupled Bulk Acoustic Wave MEMS Resonators

“…There are two main types of acoustic wave resonators: surface acoustic wave (SAW) resonators [ 4 , 5 , 6 ], in which the propagation of acoustic waves is on the surface of the substrate, and bulk acoustic wave (BAW) resonators [ 4 , 7 , 8 ], where the acoustic waves propagate through the bulk of the substrate. BAW resonators normally feature high bulk moduli [ 9 ], high operating frequencies, as well as high quality (Q) factors [ 10 ] and thus are widely used as filters [ 3 , 11 , 12 , 13 , 14 , 15 ], oscillators [ 3 , 13 , 16 , 17 , 18 ] as well as sensors [ 3 , 15 , 19 , 20 , 21 , 22 ].…”