Selective electroless plating to fabricate complex three-dimensional metallic micro/nanostructures

Formanek, F.; Takeyasu, Nobuyuki; Tanaka, Takuo; Chiyoda, Kenta; Ishikawa, Atsushi; Kawata, Satoshi

doi:10.1063/1.2178261

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“…Formanek et al demonstrated that silver can be bound to a styrene-modified SCR500 resin that is treated with SnCl 2 after fabrication. [120,121] By making the substrate surface hydrophobic, silver can be reduced selectively onto polymeric microstructures from an aqueous solution. The conductivity of the coating is only about a factor of five lower than that of bulk silver.…”

Section: Chemical Deposition Of Metals On 3d Microstructuresmentioning

confidence: 99%

Multiphoton Fabrication

et al. 2007

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Chemical and physical processes driven by multiphoton absorption make possible the fabrication of complex, 3D structures with feature sizes as small as 100 nm. Since its inception less than a decade ago, the field of multiphoton fabrication has progressed rapidly, and multiphoton techniques are now being used to create functional microdevices. In this Review we discuss the techniques and materials used for multiphoton fabrication, the applications that have been demonstrated, as well as those being pursued. We also consider the outlook for this field, both in the laboratory and in industrial settings.

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Section: Chemical Deposition Of Metals On 3d Microstructuresmentioning

confidence: 99%

Multiphoton Fabrication

et al. 2007

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“…[119] der Mikrofabrikation mit SnCl 2 behandelt worden war. [120,121] Wenn man die Substratoberfläche hydrophobisiert, kann man Silberionen aus einer wässrigen Lösung selektiv auf den Polymermikrostrukturen reduzieren. Die Leitfähigkeit der Beschichtung ist nur etwa fünfmal geringer als die von makroskopischem Silber.…”

Section: Abscheidung Von Metallen Aus Lösungenunclassified

Mehrphotonen‐Mikrofabrikation

et al. 2007

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Chemische und physikalische Prozesse, die auf Mehrphotonenabsorption beruhen, ermöglichen die Herstellung komplexer dreidimensionaler Mikrostrukturen mit einer Auflösung von 100 nm. Seit der experimentellen Realisierung der Mehrphotonenabsorption vor nicht einmal zehn Jahren wurden in diesem Bereich rasch Fortschritte erzielt, und Mehrphotonentechniken werden heute für die Herstellung funktionsfähiger Mikrosysteme eingesetzt. In diesem Aufsatz diskutieren wir die Techniken und Materialien, die für die Mehrphotonen‐Mikrofabrikation verwendet werden, sowie bereits beschriebene und gegenwärtig angestrebte Anwendungen. Wir betrachten auch die Perspektiven dieses Felds für Forschung und Industrie.

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“…Formanek et al also reported the three-dimensional fabrication of metallic nanostructures over large areas using a combination of two-photo polymerization and electroless plating techniques [15,16]. To fabricate numerous metallic 3D structures for plasmonic metamaterials, multiple laser beam spots created by a micro lens array were introduced to the DLW.…”

Section: Figmentioning

confidence: 99%