Schwingungen in Mikrostrukturen 3D-Laservibrometer-Mikroskop mit nur einem Messstrahl

Abstract

Zusammenfassung Wir stellen ein neues Messmikroskop vor, welches die Erfassung von dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischer Objekte in Echtzeit ermöglicht. Das Messsystem besteht aus einem einzigen, integrierten Messkopf, der den von einem mikroskopischen Messobjekt in drei Raumrichtungen gestreuten Laserstrahl analysiert und daraus die dreidimensionale Objektbewegung bestimmt. Die Messpunktgröße ist hierbei kleiner als 4 μm, wobei optisches Übersprechen zwischen den drei Analyserichtungen vermieden wird, da es nur einen Messlaserstrahl gibt.Summary We present a new type of measurement microscope which is able to detect three-dimensional vibration parameters of microscopic objects in real-time.The measurement system comprises a single, integrated measurement head which analyzes the light scattered by the object into three directions to determine the threedimensional object motion. The measurement spot size is less than 4 μm. Optical crosstalk between the analysis directions is avoided by using only a single laser beam for measurement.