Schwingungen in Mikrostrukturen 3D-Laservibrometer-Mikroskop mit nur einem Messstrahl

Abstract

Zusammenfassung Wir stellen ein neues Messmikroskop vor, welches die Erfassung von dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischer Objekte in Echtzeit ermöglicht. Das Messsystem besteht aus einem einzigen, integrierten Messkopf, der den von einem mikroskopischen Messobjekt in drei Raumrichtungen gestreuten Laserstrahl analysiert und daraus die dreidimensionale Objektbewegung bestimmt. Die Messpunktgröße ist hierbei kleiner als 4 µm, wobei optisches Übersprechen zwischen den drei Analyserichtungen vermieden wird, da es nur einen Messlaserstrahl gibt.