Review of laser scanning methods for microelectronic semiconductor structures investigation

Application of machine vision technology for focused laser effect accuracy improvement in microelectronic structures research and semiconductor microprocessing

“…Keywords: machine vision, laser scanning microscopy, topology correction, microelectronics, laser scribing, automation. Машинное зрение и лазерная сканирующая микроскопия (ЛСМ) [1][2][3] находят применение в определении и контроле доверенности изделий электронной компонентной базы (ЭКБ). Доверенность ЭКБ подразумевает соответствие изделия требованиям к функционально-техническим, эксплуатационным характеристикам и предъявляемым требованиям по технологической, функциональной и информационной безопасности.…”

“…В задачах обеспечения и контроля доверенности применяются сфокусированные лазеры для диагностики и анализа отказов, получения «карты фотооткликов» кристаллов, для идентификации подлинности интегральных схем, а также для обнаружения недекларированных топологических коррекций и включений (например, методами OBIC, LIVA и др. [1,[4][5][6]). ЛСМ также применяется при испытаниях на стойкость изделий ЭКБ к одиночным радиационным эффектам при имитации попадания иона с помощью сфокусированного импульса на поверхности полупроводникового кристалла [7,8].…”