Кафедра Електронної Інженерії phbme.kpi.ua Національний Технічний Університет України "Київський Політехнічний Інститут імені Ігоря Сікорського" kpi.ua Київ, Україна Анотація-У роботі наведено аналіз релаксаційних процесів у субмікронних гетероструктурних транзисторах з системою квантових ям. Розроблено методики моделювання наногетероструктур з урахуванням квантових ефектів та специфічних для потрійних сполук механізмів розсіяння. На основі системи релаксаційних рівнянь проведено моделювання субмікронних гетероструктур з квантовими ямами. При моделюванні, крім оптичних, акустичних, міждолинних і домішкових механізмів розсіяння, враховано розсіювання на сплавному деформаційному потенціалі. Розраховано часи релаксації для розсіювання на сплавному деформаційному потенціалі і враховано вплив на полешвидкісні і вихідні характеристики субмікронного гетероструктурного транзистора. Бібл. 13, рис. 19. Ключові словамеханізми розсіювання; сплавний потенціал; часи релаксації; субмікронні гетероструктурні транзистори; квантові ями.