Properties of TiN and CrN coatings deposited at low temperature using reactive arc-evaporation

Gåhlin, Rickard; Bromark, Michael; Hedenqvist, Per; Hogmark, Sture; Håkansson, G.

doi:10.1016/0257-8972(95)02597-9

Cited by 66 publications

(22 citation statements)

References 17 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…It has been shown by Munz et al [64] the melting temperature of the cathode material influences the number and size of these droplets. Gahlin et al [65] have demonstrated cathodic arc deposition and Wang and Oki [66] have demonstrated low voltage beam evaporation deposition. Hurkmans et al [67] deposited coatings using a combined steered arc/unbalanced magnetron-arc bond sputtering (ABS) technique.…”

Section: Tool Coatingsmentioning

confidence: 98%

A review of micro and nanomachining from a materials perspective

Robinson

Jackson

2005

Journal of Materials Processing Technology

View full text Add to dashboard Cite

Section: Tool Coatingsmentioning

confidence: 98%

A review of micro and nanomachining from a materials perspective

Robinson

Jackson

2005

Journal of Materials Processing Technology

View full text Add to dashboard Cite

“…Как правило, наименьшим износом обладают покры-тия с максимально возможными твердостью, адгезией и минималь-ным коэффициентом трения (см., например, [97]). В свою очередь, как уже отмечалось в предыдущих разделах, данные характери-стики непосредственно связаны с условиями постановки экспери-ментов и весьма неоднозначны.…”

Section: трибологические характеристикиunclassified

Coatings on the Basis of Chromium Nitride. Experience of Design and Investigation

Gyglya

Neklyudov

2005

Usp. Fiz. Met.

View full text Add to dashboard Cite

В обзоре систематизированы результаты исследований последних 25 лет в области получения и применения Cr-N-покрытий, создаваемых с помощью вакуумно-дуговых, магнетронных и ионно-стимулированных технологий. Проанализирована взаимосвязь между базовыми параметрами процессов, такими как давление рабочего газа, энергия ионов, степень ионизации, по-тенциал смещения и др., и структурно-фазовыми, механическими и трибо-логическими характеристиками покрытий. Выявлены характерные отли-чия в условиях получения покрытий CrN и Cr 2 N. Проведено сравнение экс-плуатационных свойств Ti-N-и Cr-N-покрытий.У даному огляді систематизовано результати досліджень за останні 25 ро-ків у галузі одержання та використання Cr-N-покриттів, які створюються за допомогою вакуумно-дугових, магнетронних та йонно-стимульованих технологій. Проаналізовано взаємозв'язок між базовими параметрами про-цесів, такими як тиск робочого газу, енергія йонів, ступінь йонізації, по-тенціял зміщення та ін., і структурно-фазовими, механічними та триболо-гічними характеристиками покриттів. Виявлено характерні відмінності в умовах створення покриттів CrN та Cr 2 N. Виконано порівняння експлуата-ційних властивостей Ti-N-та Cr-N-покриттів.The investigation results concerning fabrication and application of Cr-N coatings, which are produced by the vacuum-arc evaporation, magnetron sputtering, and ion beam-assisted deposition, are systematized. The links between base parameters of these processes such as gas pressure, ion energy, ionization degree, bias potential and structure, mechanical, and tribological characteristics are analyzed. The characteristic differences of fabrication conditions for CrN and Cr 2 N coatings are revealed. The comparison of performance attributes of Ti-N and Cr-N coatings is carried out.Ключевые слова: покрытия Cr-N и Ti-N, вакуумно-дуговое испарение, магнетронное распыление, ионно-стимулированное осаждение.Успехи физ. мет. / Usp. Fiz. Met. 2005, т. 6, сс. 197-232 Îòòèñêè äîñòóïíû íåïîñðåäñòâåííî îò èçäàòåëÿ Ôîòîêîïèðîâàíèå ðàçðåøåíî òîëüêî â ñîîòâåòñòâèè ñ ëèöåíçèåé 2005 ÈÌÔ (Èíñòèòóò ìåòàëëîôèçèêè èì. Ã. Â. Êóðäþìîâà ÍÀÍ Óêðàèíû) Íàïå÷àòàíî â Óêðàèíå.

show abstract

“…Many types of coating materials, such as TiN, TiAlN, AlCrN and DLC, have been widely studied to improve the wear and corrosion resistance of various materials, and good properties are obtained by controlling the chemical composition and film thickness [3][4][5][6]. CrN is a well-known hard thin film with good wear resistance [7][8][9], corrosion resistance [10], and oxidation properties [11,12].…”

Section: Introductionmentioning

confidence: 99%