Properties of reactively sputtered W–Si–N films

Effect of copper content and substrate bias on structure and mechanical properties of reactive sputtered CrCuN films

“…At present, there are two groups of hard and superhard nanocomposites: (i) nc-MeN/hard phase and (ii) nc-MeN/soft phase [1]. Nanocomposite films based on hard/hard phases have attracted an overwhelming interest mainly focusing on the production, characterization and application [5][6][7][8][9][10][11] since Veprek et al [12] found Ti-Si-N nanocomposite films could get ultrahardness of 80-105 GPa and high toughness.…”

Properties of magnetron sputtered Al–Si–N thin films with a low and high Si content

“…The thermal stability and oxidation resistance of nc-T MeN/a-Si 3 N 4 nanocomposites with a low (≤ 10 at.%) Si content is limited by a low (b1000°C) crystallization temperature of the dominating T MeN phase. Recently, it has been found that the thermal stability and oxidation resistance of the nc-T MeN/a-Si 3 N 4 nanocomposites can be easily increased above 1000°C if these nanocomposites contain a high (≥ 25 at.%) amount of Si [10][11][12][13][14][15][16][17][18][19]. This improvement in thermal stability and oxidation resistance of nc-T MeN/a-Si 3 N 4 nanocomposites with a high (N20 at.%) Si content is due to their X-ray amorphous structure which remains stable during thermal annealing up to~1400 to 1500°C.…”

Structure, Properties and Fabrication of the Solid Nanocrystalline Coatings Deposited in Several Ways

“…Этого можно достичь в случае, если твёрдая плёнка будет аморфной. Это требование легко выполни-мо, если использовать новое семейство композитов Si 3 N 4 MeN x с высо-ким содержанием (50 об.%) фазы a-Si 3 N 4 [14][15][16][17]. Такие покрытия аморфны и их твёрдость достигает от 20 до 40 ГПа, т.е.…”

“…Необходимо дальнейшее исследо-вание этих плёнок с помощью HRTEM, чтобы ответить на этот вопрос. Mo-Si-N, однако, менее пластичны по сравнению с плёнками W-Si-N, которые напыляли с мишени WSi [2,16]; см. рис.…”

“…Этого можно достичь в том случае, если твердая плёнка будет аморфной. Такое требование можно осуществить легко, если получить новое семейство компози-тов a-Si 3 N 4 MeN x с высоким содержанием a-Si 3 N 4 фазы ( 50 об.%) [57][58][59][60][61]. Такое утверждение подтверждает, например, шлиф нано-композитных плёнок Ta-Si-N и Mo-Si-N, приведенный на рис.…”