Procedures for measuring pumping speeds

Grosse, G.; Jitschin, W.; Wandrey, D

doi:10.1016/0042-207x(90)94196-w

Cited by 9 publications

(3 citation statements)

References 8 publications

Supporting

Mentioning

Contrasting

Unclassified

Order By: Relevance

“…As pointed out in [6], the results of the flowmeter method and the orifice method do not agree within their uncertainties for an overlapping pressure range. It can be seen from the graph in the original paper [7] that each method measures a different value of the pumping speed. Apparently, the equilibrium in the set of molecules entering the pump in each of these arrangements is distorted differently so that a differently defined pumping speed is measured in each case.…”

Section: Orifice Methodmentioning

confidence: 99%

Determination of pumping speed and its impact on the overall uncertainty budget of the CMI orifice flow standard

et al. 2008

View full text Add to dashboard Cite

The pumping speed of a pump in an orifice flow standard was measured to enable calculation of the effective pumping speed in the calibration chamber. The main problems are as follows. (1) The pumping speed of a pump connected to a chamber of finite size is not unambiguously defined; different measuring arrangements lead to different values. It is necessary to measure the pumping speed of the pump in the same arrangement as for the orifice flow standard. (2) If this is to be a primary standard, gauges related to calibration of the gauge to another standard cannot be used for the measurement for the same range of pressures.The necessary precision of the measurement was determined. The orifice method and the flowmeter method were tested directly in the arrangement for the orifice flow standard. These two methods were used to avoid the necessity of using gauges calibrated to another standard.The pumping speed of the pump for the CMI orifice flow standard was measured with sufficiently low uncertainty, so that its effect on the uncertainty budget of the entire standard was negligible.

show abstract

Section: Orifice Methodmentioning

confidence: 99%

Determination of pumping speed and its impact on the overall uncertainty budget of the CMI orifice flow standard

et al. 2008

View full text Add to dashboard Cite

show abstract

“…Diese sind in Tabelle [85], was aufgrundder Tatsache, dass sich in den beiden Arten von Testdomen unterschiedliche molekulare Strömungen ausbilden, auch nicht all zu sehr überrascht. …”

Section: Normen Für Die Bestimmung Von Kenngrößen Von Vakuumpumpenunclassified

Kalibrierungen und Normen

Jousten¹

2004

Wutz Handbuch Vakuumtechnik

View full text Add to dashboard Cite

In diesem Kapitel erfahren Sie, wie Vakuummessgeräte kalibriert werden, was geeignete Primärund Sekundärnormale für Vakuumdrücke sind, und wie Saugvermögensmessungen von Vakuumpumpen durchgeführt werden. EinleitungUnter Kalibrieren versteht man die Ermittlung des Zusammenhangs zwischen den ausgegebenen Werten eines Messgerätes und den zugehörigen, durch Normale festgelegten, Werten einer Messgröße unter vorgegebenen Bedingungen. Kalibrierungen von Messgeräten sind insbesondere dann notwendig, wenn die Ausgangsgröße [Y] des Messgerätes nicht durch eine physikalische Formel über bekannte Eingangsgrößen [Xil eindeutig beschrieben werden kann oder nicht alle Eingangsgrößen bekannt sind, bzw. gemessen werden können. In den meisten Fällen wird die angezeigte Messgröße [Y] eines Messgerätes nicht direkt gemessen, sondern über andere Eingangsgrößen bestimmt.Hierbei können einige der X; auch physikalische Konstanten sein. Sind nicht alle X; bekannt, müssen sie vor einer Messung mit dem Messgerät durch eine Kalibrierung bestimmt werden. Ist auch dies nicht möglich, legt man eine neue Beziehung mittels einer Kalibrierkonstanten fest.Zur Verdeutlichung betrachten wir das Ionisationsvakuummeter. Der angezeigte Druck ist nach GI. (12.31) gegeben durch I+ kT p = -· --'

show abstract

“…--- [72], was aufgrund der Tatsache, daß sich in den beiden Arten von Testdomen unterschiedliche molekulare Strömungen ausbilden, auch nicht all zu sehr überrascht.…”

Section: Normen Für Die Bestimmung Von Kenngrößen Von Vakuumpumpenunclassified

Kalibrierungen und Normen

Wutz¹,

Adam²,

Walcher³

et al. 2000

Handbuch Vakuumtechnik

View full text Add to dashboard Cite

Unter Kalibrieren versteht man die Ermittlung des Zusammenhangs zwischen den ausgegebenen Werten eines Meßgerätes und den zugehörigen, durch Normale festgelegten, Werten einer Meßgröße unter vorgegebenen Bedingungen. Kalibrierungen von Meßgeräten sind insbesondere dann notwendig, wenn die Ausgangsgröße [Y] des Meßgerätes nicht durch eine physikalische Formel über bekannte Eingangsgrößen [Xil eindeutig beschrieben werden kann oder nicht alle Eingangsgrößen bekannt sind, bzw. gemessen werden können. In den meisten Fällen wird die angezeigte Meßgröße [Y] eines Meßgerätes nicht direkt gemessen, sondern über andere Eingangsgrößen bestimmt. Y = F(X i ) Hierbei können einige der Xi auch physikalische Konstanten sein. Sind nicht alle Xi bekannt, müssen sie vor einer Messung mit dem Meßgerät durch eine Kalibrierung bestimmt werden. Ist auch dies nicht möglich, legt man eine neue Beziehung mittels einer Kalibrierkonstanten fest. Zur Verdeutlichung betrachten wir das Ionisationsvakuummeter. Der angezeigte Druck ist nach GI. (11.19) gegeben durch [+ kT p = -' --, r alll wobei [+ der gemessene Ionenstrom, [-der Strom derjenigen Elektronen, der in den Ionisationsraum eintritt, T die Temperatur des Gases, a der von der Energie der stoßenden Elektronen und der Gasart abhängige Wirkungsquerschnitt für Ionisierung, III der mittlere Weg der Elektronen durch den Ionisationsraum, und k die Bolzmannkonstante ist. Lediglich kais physikalische Konstante und [+ als gemessene Größe sind hier gut bekannt, alle anderen Größen nicht. So ist es beispielsweise nicht möglich, durch Simulationsrechnungen den mittleren Weg III der Elektronen durch den Ionisationsraum mit hinreichender Genauigkeit zu berechnen, teilweise auch deswegen, weil die örtliche Emissionsverteilung der Elektronen auf der Kathode sich zeitlich ändert [1]. Mittels einer Kalibrierkonstanten kann eine neue Beziehung von Eingangsgröße bzw. Meßgröße (in unserem Beispiel der Ionenstrom [+) und Ausgangsgröße (hier der Druck) festgelegt werden. Im Falle des Ionisationsvakuummeters ist dies durch die Vakuummeterkonstante mit GI. (11.20) geschehen. Diese Kalibrierkonstante wird mittels einer Kalibrierung bestimmt. Der Sinn jeder Kalibrierung ist, die Meßrichtigkeit eines Meßgeräts festzustellen, indem die angezeigte Größe auf die SI-Einheiten direkt oder indirekt zurückgeführt wird. Dies ist nicht nur von physikalischer, sondern auch wirtschaftlicher Bedeutung. Wird beispielsweise von einem Hersteller einer Hochvakuumpumpe bei einer Saugvermögensmessung ein Vakuummeßgerät verwendet, welches einen zu niedrigen Druck über dem Saugflansch anzeigt, so wird der Hersteller einen zu hohen Wert des Saugvermögens angeben und eventuell einen Vorteil gegenüber einem Konkurrenten'erhalten, welcher korrekt gemessen hat.

show abstract

Procedures for measuring pumping speeds

Cited by 9 publications

References 8 publications

Determination of pumping speed and its impact on the overall uncertainty budget of the CMI orifice flow standard

Determination of pumping speed and its impact on the overall uncertainty budget of the CMI orifice flow standard

Kalibrierungen und Normen

Kalibrierungen und Normen

Contact Info

Product

Resources

About