Use of material structure sizes as measuring-normal L. Spieß, Ch. Knedlik Messen von Längen ist ein Vergleichen/Bewerten von erhaltenen Messsignalen mit einem Standard/Kalibriermassstab. Die Nanotechnik erfordert Messgenauigkeiten vom Submeter bis zum Nanometerbereich, d. h. ein Ü berstreichen von 9 Größenordnungen. Messmarken und mögliche Messnormale werden nach ihren Erfordernissen klassifiziert und auf Anforderungen, Genauigkeit, Stabilität, Datenmengen und Machbarkeit analysiert. Für eine Nanopositionier-und -messmaschine werden Vorschläge für eine Realisierbarkeit zusammengefasst.Schlagworte: Kalibriermaßstab, Kristallgitterkonstanten, Röntgenbeugung, Elektronenmikroskopie, Mikrostrukturen Lengths measurement is a comparison/evaluating of received measuring signals with a standard/calibration yardstick. The nano-technology requires measuring accuracies from the submeter to the nanometer range, i.e. a range over 9 orders of magnitude. Strobes and possible measuringnormal are classified according to their requirements and analyzed on requirements, accuracy, stability, data sets and feasibility. For nano-position-and nano-measuring-maschine are summarized suggestions for a feasibility.