“…Основными особенностями расчета фотолитографических систем являются неприменимость стан-дартных скалярных методов из-за высоких числовых апертур [7], необходимость учета частичной коге-рентности источников [8], поляризационные свойства материалов [9][10][11], а также нелинейности в фоторе-зистах. Все это вынуждает разрабатывать новые алгоритмы расчета формирования изображения, осно-ванные на более точном применении дифракционной теории.…”